Arrêtez de chauffer votre machine au lieu de la wafer elle-même.
La plupart des chauffages infrarouges sont plutôt encombrants. Ils diffusent l’énergie dans toutes les directions – en somme, c’est comme un rayonnement thermique à 360 degrés. Lorsque vous travaillez avec des équipements dont l’espace est très limité, cela pose problème. Les parois intérieures de l’équipement absorbent toute cette énergie supplémentaire, ce qui fait que le châssis devient dangereusement chaud.
C’est pourquoi nous utilisons des lampes à fibres de carbone. Au lieu de laisser la chaleur se disperser, nous la dirigeons directement là où elle est nécessaire : sur la wafer ou le substrat. Vous n’avez donc plus besoin de gaspiller de l’énergie pour chauffer la structure métallique de votre machine.
Comment ça fonctionne en réalité ?
Pensez-y comme à la différence entre une ampoule et une lampe de poche. Les chauffages en quartz traditionnels diffusent la chaleur partout. Les filaments en fibres de carbone, quant à eux, permettent de concentrer cette énergie. On peut ajuster le point focal afin que la chaleur atteigne exactement sa cible et y reste. Cela représente un grand soulagement pour les opérateurs : ils n’ont plus à éviter les zones trop chaudes ou à se brûler les mains en touchant les parois de l’équipement, car celles-ci restent froides.
Les inconvénients (et comment y remédier)
Ces lampes sont très puissantes. Elles atteignent leur température maximale très rapidement, ce qui offre un niveau de contrôle excellent. Mais il faut être prudent. Comme la chaleur est très concentrée, cela exerce une pression importante sur la surface concernée. Si vous appliquez trop d’énergie sur une petite zone, vous risquez de créer des points chauds sur le substrat. Il s’agit donc de trouver un équilibre entre la longueur de la lampe et sa densité énergétique, en fonction des besoins spécifiques de votre processus.
Pour commencer à les utiliser
Nous avons conçu ces lampes pour qu’elles puissent être remplacées facilement sans avoir à démonter tout l’équipement. Le câblage est simple. Un conseil : vérifiez vos régulateurs PID. Les fibres de carbone réagissent beaucoup plus rapidement que les anciens chauffages en céramique, il faudra donc probablement ajuster les paramètres pour tenir compte de cette vitesse.
De plus, cela présente un avantage pour le responsable de l’installation : comme les parois de l’équipement ne fonctionnent pas comme des dissipateurs de chaleur, le système de refroidissement n’a pas besoin de travailler autant. Les pompes à refroidissement peuvent enfin se reposer, car la température ambiante reste stable.
C’est simplement une manière plus intelligente de transférer l’énergie. Arrêtez de chauffer inutilement, et concentrez plutôt l’énergie là où elle est nécessaire.