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		<title>Résister on Intense Infrared Heating Lamps</title>
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				<title>Chauffage de cuisson de résine E beam</title>
				<link>http://ir-heat-fire.com/fr/posts/e-beam-resist-baking-heater/</link>
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				<description>&lt;p&gt;&lt;img src=&#34;http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png&#34; alt=&#34;Chauffage de cuisson de résine E beam&#34;&gt;&lt;/p&gt;&#xA;&lt;p&gt;Sur la ligne de lithographie, un préchauffage de résine E-beam n’est pas simplement une mise en température. C’est l’événement thermique qui détermine le contrôle des dimensions critiques. Une dérive de 2°C sur la plaquette peut décaler les motifs de quelques nanomètres, et ce sont ces nanomètres qui font la différence entre un bon rendement et un rebut. Nous avons conçu le chauffage de cuisson de résine E-beam en partant de cette réalité : maintenir l’événement thermique stable, propre et répétable.&lt;/p&gt;</description>
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