במחלקת הליתוגרפיה, לומדים מהר ששינוי קל בטמפרטורה של חצי מעלה יכול לגרום לכך שהשליטה בממדים הקריטיים של הצ’יפים תפר את הסטנדרטים. למנורות החימום האלו אין תפקיד של פשוט לחמם – הן משמשות כ”עוגנים” שמווסתים את התהליך. ייצרנו אותן עבור סביבות הייצור של שבבים, שבהן כל צ’יפ חייב לקבל את אותו תנאי חום, בכל פעם שהוא עובר תהליך הייצור.
מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משיגים אחידות טמפרטורית של ±0.1°C על פני כל שטח החימום, באמצעות קרינת אינפרא-אדום בגלי אורך קצר, עם גופי פלט מסוג קוורץ-הלוגן שמגיבים במהירות ובאופן חוזר. האחידות של הטמפרטורה בין פעם לפעם נשארת בטווח של ±0.2°C, כך שהפרופילים של תהליך החימום לא משתנים. המערכת פועלת בסביבות מסוג Class 1–100, כך שאין יצירה של חלקיקים שעלולים לגרום לפגמים. צריכת האנרגיה נמדדת ומושלמת, וגופי הפלט שומרים על יציבות הפלט למשך 5,000 שעות ויותר.
למה זה עובד במפעלי ייצור? יש צורך שתהליך החימום יתאים לתכונות החומרים שמשמשים בייצור, ולא להיפך. אחידות גבוהה של הטמפרטורה מפחיתה את השונויות בעובי ובצורה של החומרים, מה שמסייע בשמירה על אחידות הממדים של הצ’יפים. המבנה של המערכת מאפשר פעולה בסביבות נקיות, והאופטיקה שלה מונעת זיהום. האמינות של המערכת מאפשרת פעולה 24/7, ללא בעיות. התוצאה: פחות צורך בעבודות תיקון, זמן אימות מהיר יותר, ותהליך ייצור שנשאר בתוך הסטנדרטים הנדרשים.
מה צריך לזכור? יש צורך להתאים את גודל המנורה ואת חיבוריה לתחנת החימום שלכם, ולאחר מכן לבדוק את החיבור התרמי שלה עם המערכת. המנורה עומדת בסטנדרטים כאשר המשטח המחזיר את הקרינה נשאר נקי, וכאשר זרימת האוויר בחדר החימום נשארת כפי שתוכנן – אחרת, האחידות של הטמפרטורה נפגעת. יש לתכנן את תהליך האימות כך שיוכלו לוודא שהפרופילים של החימום תואמים את החומרים שמשמשים בייצור, לפני שמגדילים את כמות הייצור.