רפלקטור לנורת התקשות וופרים

על הקו, חזרתיות של חימום פוטורזיסט היא הבסיס - אין מקום לטעויות. כמה מעלות של סטיית טמפרטורה ברחבי השכבה ואתה מדפיס שגיאת רוחב קו של 0.1 μm, ואז רואה...