लिथोग्राफी प्रक्रिया में, “सॉफ्ट बेक” के दौरान 1°C का अंतर भी फोटोरेसिस्ट की संरचना को नैनोमीटर स्तर पर प्रभावित कर सकता है… और यही अंतर ही ओवरले त्रुटि के रूप में प्रकट होता है। हमने अपने हीटरों को इसी वास्तविकता के अनुरूप डिज़ाइन किया है… न कि इसका विरोध करने हेतु। “मेड इन चाइना” हीटर निर्माता के रूप में, हम ऐसे थर्मल मॉड्यूल वितरित करते हैं, जो वेफर की सतह पर तापमान को ±0.1°C के भीतर ही बनाए रखते हैं… ताकि महत्वपूर्ण आयाम सही रहें।
क्या महत्वपूर्ण है?
हम क्वार्ट्ज-हैलोजन एमिटरों का उपयोग करके शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तकनीक का उपयोग करते हैं… इससे ऊष्मा तेज़ी से एवं सूखी अवस्था में ही पहुँचती है… और कम द्रव्यमान के कारण तापमान जल्दी ही स्थिर हो जाता है। क्लोज्ड-लूप नियंत्रण प्रणाली, NIST मानकों के अनुरूप सेंसरों के उपयोग से चीजों को नियंत्रित रखती है… पुनरावृत्ति सटीकता ±0.2°C है।
उच्च गुणवत्ता वाली सामग्रियाँ…
हम उच्च शुद्धता वाली सामग्रियों एवं वेल्डेड जोड़ों का उपयोग करते हैं… ताकि गैस उत्सर्जन एवं कणों का उत्पादन कम रहे… इस प्रकार यह उपकरण क्लीनरूम क्लास 1–100 की आवश्यकताओं को पूरा करता है। पावर डेनसिटी को वेफर चक एवं हॉट प्लेटों के अनुरूप ही समायोजित किया जाता है… एवं हम वोल्टेज एवं फुटप्रिंट संबंधी विकल्प भी प्रदान करते हैं… जो सामान्य OEM उपकरणों के अनुरूप होते हैं।
यह क्यों उत्पादन में उपयोगी है?
फोटोरेसिस्ट प्रक्रिया – सॉफ्ट बेक, हार्ड बेक, पोस्ट-बेक – स्थिर तापमान पर ही संभव है… हमारे हीटर तय तापमान तक जल्दी ही पहुँच जाते हैं… एवं वेफर की सतह पर तापमान को समान रखते हैं। इससे महत्वपूर्ण आयामों में सटीकता बढ़ जाती है… रीवर्क की आवश्यकता कम हो जाती है… एवं उत्पादन प्रक्रिया भी अधिक विश्वसनीय हो जाती है।
ऊर्जा उपयोग में कमी…
चूँकि यह प्रणाली आवश्यकता के अनुसार ही गर्म/ठंडी होती है… इसलिए ऊर्जा उपयोग में कमी आती है। 24/7 संचालन हेतु इस प्रणाली की विश्वसनीयता बहुत अधिक है… एवं अप्रत्याशित रूकावटें भी कम हो जाती हैं।
क्या ध्यान देना आवश्यक है?
स्थापना के दौरान थर्मल इंटरफेस पर ध्यान देना आवश्यक है… जैसे – चक की समतलता, संपर्क दबाव, एवं एमिसिविटी। थोड़ी सी भी हवा की दरार से ही स्थानीय असमानताएँ उत्पन्न हो जाती हैं।
प्रक्रिया का मूल्यांकन…
प्रक्रिया के अनुसार तापमान प्रोफ़ाइल का मूल्यांकन करें… फिर कैलिब्रेशन को लॉक कर दें। ऐसा करने पर ही उपकरण निर्धारित मानकों के अनुसार ही कार्य करेगा… लेकिन इसके लिए यांत्रिक इंटरफेस को भी थर्मल सिस्टम का ही हिस्सा मानना आवश्यक है।