पीवीडी प्रक्रिया में, तापमान नियंत्रण हर क्वार्टर में और भी कठिन होता जा रहा है… ऐसा लगता है कि हर बार हम उत्पादन प्रक्रिया में थोड़ा सा बदलाव कर रहे हैं। केवल एक ही लैंप के तापमान में हुआ बदलाव भी फोटोरेजिस्ट के गुणधर्मों को प्रभावित कर सकता है… इससे उत्पादन प्रक्रिया में विचलन हो जाता है। हमने ऐसे लैंप बनाए हैं ताकि तापमान नियंत्रण हर बार सही रहे।
वास्तव में क्या महत्वपूर्ण है?
ये लैंप क्वार्ट्ज आवरण के साथ कम-तरंगदैर्घ्य वाली अवरक्त किरणों का उपयोग करते हैं… इसलिए तापमान नियंत्रण तेज एवं सटीक होता है। वेफरों पर तापमान का विचलन ±0.1°C ही रहता है… यह महत्वपूर्ण है क्योंकि इससे क्रिटिकल प्रक्रियाओं में कोई समस्या नहीं होती। ये लैंप क्लीनरूम क्लास 1–100 के लिए बनाए गए हैं… इनमें धूल/कणों का उत्पादन नहीं होता। इन लैंपों की ऊर्जा दक्षता 7×24 घंटों तक बनी रहती है… 5,000+ घंटों तक इनमें कोई खराबी नहीं होती, एवं आउटपुट में विचलन 5% से कम ही रहता है।
पीवीडी प्रक्रिया में, सब्सट्रेट का तापमान नियंत्रित रखना बहुत ही महत्वपूर्ण है… ऐसा करने से ही उत्पादन प्रक्रिया में विचलन नहीं होता। ये लैंप हर बार तापमान नियंत्रण को सही रखते हैं… इससे फिल्म की गुणवत्ता बेहतर रहती है। इसका परिणाम है – स्थिर उत्पादन प्रक्रिया, कम रीवर्किंग, एवं आसान रखरखाव।
स्थापना संबंधी कुछ व्यावहारिक बातें:
ये लैंप सीधे ही मानक पीवीडी उपकरणों में लग सकते हैं… लेकिन स्थापना के दौरान चेम्बर के तापमान नियंत्रण व्यवस्था एवं शीतलन प्रणाली की जाँच आवश्यक है। PID सेटिंग्स को सही करने में थोड़ा समय लगता है… लेकिन ऐसा करने के बाद रखरखाव की आवश्यकता कम हो जाती है… इससे उत्पादन समय बढ़ जाता है।