लिथोग्राफी प्रक्रिया में, जल्द ही यह समझ में आ जाता है कि थोड़ा सा तापमान-परिवर्तन भी प्रक्रिया की सटीकता को बिगाड़ सकता है। ये “बेक लैंप” केवल हीटर...

On the lithography floor, an E-beam resist bake isn’t just a warm-up. It’s the thermal event that sets critical dimension control. A 2°C drift across...