Mengapa Kami Beralih ke Sistem IR untuk Proses Pencucian Tanpa Timbal
Dunia semikonduktor terus berupaya mengadopsi standar yang “ramah lingkungan” dan bebas timbal. Hal ini terlihat jelas pada tahap pengeringan dalam proses pencucian.
Selama ini, kami menggunakan oven konveksional untuk proses pengeringan. Namun, sejujurnya, memanaskan ruangan besar hanya untuk mengeringkan beberapa wafer merupakan pemborosan energi. Itulah sebabnya kami beralih ke lampu inframerah (IR). Lampu ini tidak memanaskan udara, melainkan langsung memanaskan permukaan wafer. Dengan demikian, tidak perlu lagi menggunakan unit pendingin yang memakan ruang dan meningkatkan jejak karbon di ruang bersih.
Bagaimana Proses Pengeringan Berlangsung
Selama proses pencucian, permukaan wafer dipenuhi oleh kelembapan dan sisa bahan kimia. Untuk mengatasinya, kami menggunakan lampu IR yang tahan air. Jika digunakan lampu biasa, kelembapan akan menyebabkan korsleting atau oksidasi filamen lampu dengan cepat. Ini merupakan cara yang efektif untuk merusak peralatan.
Kekuatan sebenarnya berasal dari energi radiasi. Foton-foton tersebut menembus lapisan cairan di permukaan wafer, sehingga molekul air bergetar dan menguap dengan cepat. Proses ini berlangsung sangat cepat. Kebanyakan sistem IR dapat mencapai suhu yang tepat dalam hitungan detik. Hal ini sangat penting, karena hal tersebut mencegah munculnya noda akibat kelembapan—noda yang dapat merusak kualitas chip dan membuat proses produksi menjadi sulit.
Mengatasi Lingkungan Basah
Tabung kuarsa biasa tidak mampu bertahan dalam kondisi lingkungan yang basah. Kami harus menyegel elektroda dan menggunakan lapisan khusus agar bagian sirkuit tetap kering. Kami menggunakan lampu berintensitas tinggi dan gelombang pendek, sehingga panasnya tetap terfokus pada permukaan wafer.
Kekurangan Penggunaan IR
IR bukanlah solusi ajaib. Penggunaannya juga memiliki kekurangan. Lampu ini menghasilkan panas yang intens. Jika kecepatan konveyor tidak tepat, atau daya yang digunakan terlalu tinggi, wafer bisa terlalu panas atau photoresistnya bisa rusak. Ini merupakan tantangan yang perlu diatasi dengan mencocokkan kecepatan konveyor dan daya yang digunakan agar tidak terjadi gangguan termal.
Selain itu, panas yang dipantulkan dari dinding ruangan juga perlu diperhitungkan. Diperlukan sistem pendingin yang efektif untuk mengatasi hal ini, agar peralatan tidak rusak akibat panas berlebih.