Cara yang Lebih Baik untuk Mengeringkan Wafer MEMS
Jika Anda pernah terlibat dalam proses pembuatan sensor MEMS, pasti Anda tahu betapa sulitnya pekerjaan ini. Mengeringkan wafer tanpa menyisakan sisa cairan—atau bahkan merusak permukaan wafer akibat tekanan termal—benar-benar merupakan tantangan yang sulit diatasi.
Kebanyakan orang menggunakan pemanas konveksi biasa, tetapi ada masalahnya. Pemanas tersebut justru akan memanaskan dinding bagian dalam ruang pengolahan. Hal ini merupakan pemborosan energi, dan tentu saja berbahaya bagi siapa saja yang harus memasuki mesin tersebut.
Kami menemukan cara yang lebih baik: penggunaan lampu pemanas inframerah yang dirancang khusus untuk tujuan ini.
Bagaimana cara kerjanya?
Pemanas konvensional berusaha memanaskan udara di sekitar benda yang akan diproses. Sedangkan lampu inframerah berbeda; ia memancarkan radiasi elektromagnetik secara langsung ke arah wafer. Energi tersebut langsung mengenai wafer dan sisa cairan di atasnya, sehingga terjadi penguapan yang cepat. Karena panasnya ditujukan secara tepat, dinding mesin tetap dingin. Dengan demikian, energi tidak terbuang sia-sia untuk memanaskan seluruh ruangan; energi hanya digunakan untuk memanaskan bagian yang benar-benar membutuhkannya.
Hal-hal yang perlu diperhatikan
Tentu saja, hal ini bukan sekadar “pasang dan gunakan”. Untuk mendapatkan tingkat panas yang tepat untuk proses produksi MEMS, kita biasanya menggunakan lampu kuarsa berfrekuensi tinggi. Lampu ini dapat meningkatkan suhu dengan cepat, sehingga sangat cocok untuk proses produksi yang cepat.
Namun, kita perlu memperhatikan jarak antara lampu dan wafer. Jika lampu terlalu dekat, akan terbentuk titik-titik panas yang dapat merusak sensor. Sebaliknya, jika lampu terlalu jauh, waktu pengeringan akan menjadi lebih lama. Jadi, jarak antara lampu dan wafer perlu disesuaikan dengan tepat.
Mengurangi kesulitan dalam proses produksi
Yang paling baik adalah tidak perlu menggunakan bahan isolasi yang berat seperti yang digunakan oleh sistem konveksi. Dengan demikian, alat-alat yang digunakan akan mengambil ruang yang lebih sedikit di lantai.
Selain itu, waktu tunggu yang panjang saat mesin dihidupkan juga dapat dikurangi. Operator dapat memasuki mesin lebih cepat, tanpa perlu khawatir akan terbakar oleh panas yang dihasilkan oleh mesin tersebut.
Satu tips lagi: pastikan suplai daya yang digunakan mampu menangani daya maksimum lampu tersebut. Jika tidak, lampu tersebut bisa saja mati lebih cepat dari yang seharusnya.