Riscaldatore per carrello in camera pulita a semiconduttori

Sat, 27 Jun 2026 04:28:36 +0800

Sul piano di lavoro, la stabilità del fotoresist durante il processo di essiccazione dipende dallo stato del ciclo termico precedente. Le wafer sono posizionate su carrelli, e ogni minuto di variazione della temperatura può causare errori nelle dimensioni del fotoresist. In tal caso, si finisce per pagare il prezzo in termini di qualità dei prodotti ottenuti. Abbiamo progettato un riscaldatore per i carrelli utilizzati nelle stanze pulite per eliminare questa incertezza.

Ciò che è importante sotto il profilo tecnico
Utilizziamo elementi a infrarossi a breve lunghezza d’onda, racchiusi in involucri di quarzo: ciò garantisce una rapida risposta e una bassa emissione di gas. Il sistema mantiene una uniformità termica delle wafer entro ±0,1°C, mentre la precisione della regolazione è superiore a ±0,5°C. I profili di riscaldamento rimangono costanti da un ciclo all’altro, evitando così sprechi di energia sui film sensibili.

Carrello on Intense Infrared Heating Lamps

Riscaldatore per carrello in camera pulita a semiconduttori