センサー on Intense Infrared Heating Lamps

MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 08:24:31 +0800

MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法
MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。

水素センサー製造用ヒーター

Thu, 16 Jul 2026 02:24:26 +0800

なぜ水素センサーの製造に赤外線硬化技術を採用したのか
もし、依然として従来の対流式オーブンを使って半導体用の水素センサーを製造しているのであれば、それはまさに苦労の多い作業です。私たちはそのような大きくて重い装置を使わず、赤外線硬化技術を採用しました。なぜでしょうか？それは、よりクリーンで、速く、また、私たちが目指す「グリーン」な基準にも合致するからです。

スマートセンサーパッケージング・赤外線

Thu, 09 Jul 2026 05:33:12 +0800

クリーンルームを常に清潔な状態に保つための赤外線ヒーターの作り方
正直に言って、クラス100のクリーンルームを運用している場合、仕様書だけでは全てを把握することはできません。重要なのは、運転中に問題を引き起こすような微細な要素——例えばガスの発生や浮遊粒子、あるいは装置内に潜入してすべてを台無しにする汚れなど——を避けることです。
そこで私たちは、高純度の石英を使用した赤外線ヒーターを開発しました。その基本的な考え方は、たとえフルパワーで動作しても、加熱源が化学的に安定し、機械的にも安定している必要があるということです。
まず、熱衝撃に耐えられる石英製のケースを使用します。これにより、迅速に温度を上げることができ、繰り返しのオン/オフ操作にも耐えられます。また、プロセス環境における化学的な影響にも耐えられます。
その結果、内部が清潔で外部も安定した状態を毎日維持できるヒーターができあがります。