http://ir-heat-fire.com/ja/tags/%E6%8A%B5%E6%8A%97%E3%81%99%E3%82%8B/ Recent content in 抵抗する on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 05:48:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Tue, 02 Jun 2026 05:48:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Eビームレジストベーキングヒーター"></p> <p>リソグラフィフロアにおけるEビームレジストのベークは単なるウォームアップではない。これはクリティカルディメンション（CD）制御を決定づける熱処理イベントである。ウェハー上での2℃の温度変動がナノメートル単位のパターンシフトを引き起こし、そのナノメートルが良品とスクラップを分ける。私たちはこの現実を踏まえ、Eビームレジストベーク用ヒーターを設計した：熱処理イベントを安定、クリーン、かつ再現性高く保つこと。</p>