http://ir-heat-fire.com/ja/tags/%E7%87%83%E6%96%99/ Recent content in 燃料 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 06:31:11 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:31:11 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="燃料電池触媒乾燥ランプ"></p> <p>フォトレジストのソフトベイクやハードベイクの際には、温度の変動を許容するわけにはいきません。一か所でも高温になれば、触媒層がずれてしまいます。逆に低温になれば、現像後に汚れが発生してしまいます。だからこそ、燃料電池用の触媒乾燥ランプは、ウェーハの乾燥、リソグラフィー工程、パッケージング工程、クリーニング後の乾燥といったすべての工程を、単一のクリーンルーム対応型の熱処理装置で行うように設計されているのです。</p>