http://ir-heat-fire.com/ja/tags/%E7%9C%9F%E7%A9%BA/ Recent content in 真空 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Mon, 20 Jul 2026 11:04:59 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ Mon, 20 Jul 2026 11:04:59 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-compatible-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="真空対応の赤外線ヒーター"></p> <p>ウェーハが十分に加熱されるのを待つのはやめましょう。<br> 半導体の精密加工に携わったことがある人なら、強制対流式の加熱方式の非効率さをよく知っているでしょう。加熱に時間がかかりすぎます。結局、ただ座って、空気が暖まるのを待ち、その熱がウェーハに伝わるのを待つだけです。これは大きなボトルネックです。</p> http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 15 Jul 2026 09:53:42 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <h1 id="真空チャンバーの過熱を防ぐには">真空チャンバーの過熱を防ぐには</h1> <p>もし、真空チャンバー内でウェーハや基板を加熱したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。最も問題なのが「熱の蓄積」です。</p> <p>通常のIRランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出するライトバルブのようなものです。半導体製造装置のような狭い空間では、これは大きな問題となります。チャンバーの<a href="https://henruite.com">内壁</a>がその余分なエネルギーを吸収してしまいます。すると、内壁が過熱し、装置が壊れたり、最悪の場合、操作している人が怪我をしたりします。</p>