http://ir-heat-fire.com/ja/tags/%E8%A3%BD%E9%80%A0%E5%85%83/ Recent content in 製造元 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Fri, 26 Jun 2026 04:31:32 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/china-wafer-dryer-manufacturer/ Fri, 26 Jun 2026 04:31:32 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/china-wafer-dryer-manufacturer/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="中国のウェーハ乾燥機メーカー"></p> <p>ファブ内では、ご存知の通り、焼成温度が0.1℃でも変動するだけで、フォトレジストの<a href="https://o-yate.com">品質</a>が悪化してしまいます。だからこそ、熱管理や再現性、粒子制御が製品の品質を左右するような状況において、このウェーハ乾燥装置を導入したのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 150mmおよび200mmサイズのウェーハにおいて、±0.1℃の精度で温度の均一性を維持します。NIR技術と最適化された空気流により、過剰な加熱を防ぎつつ、ホットスポットを除去します。石英やハロゲン素子は、フォトレジストのソフトベイクおよびハードベイクの範囲内で動作するように校正されており、炭素繊維強化ヒーターによって高速かつ低インピーダンスな加熱が可能です。</p>