http://ir-heat-fire.com/ja/tags/%E9%83%A8%E5%B1%8B%E5%AE%A4/ Recent content in 部屋、室 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Wed, 15 Jul 2026 09:53:42 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ Wed, 15 Jul 2026 09:53:42 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/vacuum-chamber-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="真空チャンバー用赤外線ヒーター"></p> <h1 id="真空チャンバーの過熱を防ぐには">真空チャンバーの過熱を防ぐには</h1> <p>もし、真空チャンバー内でウェーハや基板を加熱したことがあるなら、その苦労はよくわかるでしょう。最も問題なのが「熱の蓄積」です。</p> <p>通常のIRランプは、エネルギーをあらゆる方向に放出するライトバルブのようなものです。半導体製造装置のような狭い空間では、これは大きな問題となります。チャンバーの<a href="https://henruite.com">内壁</a>がその余分なエネルギーを吸収してしまいます。すると、内壁が過熱し、装置が壊れたり、最悪の場合、操作している人が怪我をしたりします。</p>