http://ir-heat-fire.com/ja/tags/mems/ Recent content in MEMS on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 08:24:31 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ Mon, 27 Jul 2026 08:24:31 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/reducing-equipment-wall-heat-in-mems-wafer-drying-via-directional-ir-heating/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="MEMSセンサーワイヤー用乾燥ヒーター"></p> <p>MEMSウェーハをより効率的に乾燥させる方法<br> MEMSセンサーの製造に携わったことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。残留物を残さずにウェーハを乾燥させるのは容易ではありません。さらに悪いことに、熱応力によって部品が変形してしまうこともあります。これは常に解決が難しい問題です。</p>