http://ir-heat-fire.com/ja/tags/tool/ Recent content in Tool on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ja Wed, 29 Jul 2026 10:19:04 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/integrating-high-efficiency-infrared-temperature-sensing-in-smart-fab-wafer-tools/ Wed, 29 Jul 2026 10:19:04 +0800 http://ir-heat-fire.com/ja/posts/integrating-high-efficiency-infrared-temperature-sensing-in-smart-fab-wafer-tools/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="ウェーハツール用温度センサー"></p> <p>ウェーハの温度を推測するのはやめましょう。<br> スマートファブを構築する場合、まず最初にやるべきことは、接触型の熱電対を使わないことです。それらはあまりにも反応が遅いからです。また、センサーがウェーハに触れることで、ウェーハが汚染されるリスクもあります。</p>