팹 내에서는 포토레지스트 처리 과정에서 조금의 오차도 용납되지 않습니다. 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서 1°C만큼의 온도 변동이 생겨도 치명적인 결과를 초래할 수 있으며, 불순물이 발생하면 전체 제품이 폐기되어버릴 수도 있습니다. 우리는 이러한 변수들을 최소화하기 위해 특별히 설계된 석영 보트형 가열등을 개발했습니다.
중요한 점은 무엇인가?
이 가열등은 고품질의 석영으로 만들어진 케이스 안에 단파 할로겐 소자가 들어 있어서 반응 속도가 빠르고 온도 제어도 매우 정확합니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐 온도의 균일성은 ±0.1°C 이내로 유지되며, 반복 작업 시에도 일관된 성능을 보입니다. 또한 불순물 발생을 완전히 방지하며, 클래스 1부터 클래스 100까지의 청정실 환경에서도 사용할 수 있습니다. 5,000시간 이상 사용해도 성능이 안정적으로 유지되며, 성능 저하율은 5% 미만입니다. 따라서 24/7 연속 작동도 문제없이 가능합니다.
왜 리소그래피에 적합한가?
리소그래피 공정에서 이 가열등은 포토레지스트를 처리할 때의 온도를 정확하게 제어해주므로, 웨이퍼의 두께 변동을 줄이고 재처리 필요성도 감소시킵니다. 더욱 정밀한 온도 제어 덕분에 과도한 경화 없이도 베이킹 주기를 단축할 수 있어 처리 속도가 빨라지고 에너지 소비도 줄어듭니다. 그 결과, 더 높은 수율과 더 적은 재작업이 가능해집니다. 석영 보트형 구조 덕분에 표준 장비에도 쉽게 설치할 수 있어 교체 작업도 최소화됩니다.
꼭 확인해야 할 사항들
설치할 때는 전압, 커넥터 유형, 그리고 석영 보트의 크기가 해당 장비와 일치하는지 반드시 확인해야 합니다. 또한 필름의 두께에 따라 흡수율이 달라질 수 있으므로, 온도 프로파일도 반드시 확인해야 합니다. 이 가열등은 기계적 충격을 견디지 못하므로 튼튼하게 고정해야 합니다. 처음 사용할 때는 약간의 온도 상승이 있을 수 있으므로, 베이킹 설정을 조절하여 이를 보완해야 합니다. 또한 적절한 정렬을 통해 과열된 부분을 방지함으로써, 수천 개의 웨이퍼에 걸쳐 ±0.1°C의 균일한 온도를 유지할 수 있습니다.