http://ir-heat-fire.com/ko/tags/%EB%8C%80%EA%B8%B0/ Recent content in 대기 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ko Wed, 03 Jun 2026 12:07:30 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ Wed, 03 Jun 2026 12:07:30 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/controlled-atmosphere-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="제어 대기 베이크 램프"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>현장에서는 포토레지스트 베이크가 단순한 “온도 단계”가 아니다. 이는 승인하는 열 예산이다.<br> 소프트 베이크나 하드 베이크에서 0.5°C의 편차는 크리티컬 디멘션(CD) 분포를 이동시킨다. 한 개의 입자 이벤트로 전체 로트가 폐기될 수 있다. 7×24로 가동되는 라인에서는 베이크 장비가 변명 없이 교대마다 동일한 열 프로파일을 제공해야 한다.</p>