http://ir-heat-fire.com/ko/tags/%EC%98%A4%EC%A1%B4/ Recent content in 오존 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ko Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="오존 프리 적외선 램프"></p> <h1 id="role">Role</h1> <p>당연히, 반도체 제조 현장에서 포토레지스트 공정은 열 드리프트를 용납하지 않는다. 소프트 베이크가 목표 온도에서 0.5°C만 벗어나도 웨이퍼 전체에 CD 변동이 확산되기 시작한다. 하드 베이크의 불안정성은 스커밍과 접착 문제를 유발한다. 기존 램프들은 오존을 발생시켜 포토레지스트를 손상시키고 입자 수를 증가시키는데, 이는 특히 Class 1~100 클린룸에서 더욱 문제다.</p>