http://ir-heat-fire.com/ko/tags/%EC%B4%89%EB%A7%A4/ Recent content in 촉매 on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 06:31:11 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ Mon, 29 Jun 2026 06:31:11 +0800 http://ir-heat-fire.com/ko/posts/fuel-cell-catalyst-drying-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="연료전지 촉매 건조 램프"></p> <p>포토레지스트의 소프트 베이크나 하드 베이크 과정에서는 온도 변동을 감수할 수 없습니다. 한 곳만이라도 과열되면 촉매층이 변형됩니다. 반대로 한 곳이라도 오염된다면, 현상 과정에서 문제가 생깁니다. 그래서 연료전지용 촉매 건조 램프는 바닥에 설치되도록 만들어졌습니다. 웨이퍼 건조, 리소그래피 공정, 패키징 공정, 세척 후 건조 등 모든 작업을 하나의 클린룸 친화적인 장비로 처리할 수 있습니다.</p>