반도체 클린룸용 트롤리 히터

바닥 위에서는, 포토레지스트가 가열될 때의 안정성은 마지막 열처리 과정의 안정성에 달려 있습니다. 웨이퍼들은 카트 위에 놓여 있으며, 온도가 조금이라도 변하면 포토레지스트의 치수에 오차가 생길 수 있습니다. 그러면 결국 생산 효율에 타격을 입게 됩니다. 우리는 이러한...