On the line, kebolehulangan pembakaran photoresist adalah garis asas—tiada ruang untuk ralat. Beberapa darjah pergeseran merentasi wafer dan anda mencetak ralat lebar garisan 0.1 μm, kemudian menyaksikan ia bertambah melalui setiap lapisan litografi. Kami membina reflektor kami untuk lampu pengerasan wafer bagi menghapuskan variabiliti itu. Ia membentuk inframerah kepada medan terma sub-milimeter yang stabil, supaya soft bake dan hard bake anda kekal dalam spesifikasi, dari satu kumpulan ke kumpulan berikutnya.
Apa yang penting, dari segi teknikal
Reflektor ini disesuaikan untuk penghantaran NIR dengan kawalan sudut yang ketat, memetakan intensiti dalam ±0.1°C merentasi satah wafer. Geometri dioptimumkan untuk keseragaman, bukan fluks puncak, kerana pengerasan photoresist bergantung kepada bajet terma yang konsisten. Permukaan direka untuk partikel rendah dan reflektansi stabil, mengekalkan kiraan partikel pada tahap yang diperlukan dalam bilik bersih Kelas 1–100. Dan kebolehulangan output kekal melebihi 5,000+ jam, dengan pergeseran intensiti kurang daripada 5% walaupun dalam operasi 24/7.
Ini sebab ia berfungsi di mana-mana anda menggunakannya.
Anda menggerakkan wafer melalui litografi, kemudian ke atas plat pembakaran di mana masa, suhu, dan keseragaman menetapkan dimensi kritikal. Reflektor mengunci profil terma lampu, mengurangkan titik panas dan pengurangan tepi yang menyebabkan dimensi kritikal tidak sekata dan scumming. Hasilnya adalah keseragaman merentasi wafer yang lebih ketat, kurang kerja semula, dan hasil yang boleh dirancang. Anda juga menjimatkan tenaga kerana sistem mencapai dos terma yang diperlukan tanpa lebihan—mengurangkan kos operasi setiap wafer.
Beberapa nota di lantai kilang.
Reflektor boleh dipasang ke dalam peranti lampu pengerasan standard, tetapi toleransi penjajaran adalah ketat—pergeseran sub-milimeter akan mengubah peta keseragaman. Pasangkan dengan prosedur terkawal dan kunci sebagai sebahagian daripada penyelenggaraan pencegahan anda. Jangka hayat reflektor bergantung pada suhu operasi dan persekitaran bilik bersih juga; pendedahan wap pelarut berat akan memendekkan hayat salutan. Jadualkan penggantian mengikut sasaran masa operasi anda supaya tiada kejutan berlaku di barisan pengeluaran.