http://ir-heat-fire.com/ms/tags/percuma/ Recent content in Percuma on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ms Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/ms/posts/ozone-free-infrared-lamp/ Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/ms/posts/ozone-free-infrared-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="Lampu inframerah tanpa ozon"></p> <p>On the fab floor, pemprosesan photoresist tidak boleh mengabaikan pergeseran terma. Soft bake yang tersasar walaupun 0.5°C mula menyebarkan variasi CD di seluruh wafer. Ketidakstabilan hard bake? Itulah punca scumming dan masalah lekatan. Lampu konvensional memperburuk keadaan dengan menghasilkan ozon, yang merosakkan photoresist dan meningkatkan bilangan partikel—terutamanya di bilik bersih Kelas 1–100.</p> <p>Berikut adalah perkara yang benar-benar penting.</p> <p>Lampu inframerah tanpa ozon ini mengeluarkan tenaga gelombang pendek dengan kawalan spektrum yang selari dengan penyerapan photoresist. Ini memastikan kecerunan suhu permukaan ke dalam bahan kekal ketat. Di seluruh plat bake, keseragaman peringkat wafer dikekalkan dalam ±0.1°C, dan pengulangan setpoint adalah ±0.5°C dari satu <a href="https://o-yate.net">batch</a> ke batch lain. Tiada ozon bermakna tiada artifak pengoksidaan dan beban pada scrubber berkurang. Amplop kuarza direka untuk pelepasan gas rendah dan pelepuhan partikel minimum, jadi kehilangan hasil akibat pencemaran dapat dielakkan.</p>