Op de productieafdeling worden de mogelijkheden voor het gebruik van PVD-procedures steeds beperkter. Elke kwartaal lijkt het alsof er weer een beetje van de mogelijkheden wordt weggenomen. Eén enkele temperatuurschommeling van de lamp is al voldoende om het profiel van de fotoreductor te verstoren. Hierdoor ontstaan problemen met de consistentie van de afbeeldingen en de dikte van de laag die wordt gecreëerd. We hebben deze PVD-lampen ontworpen om de thermische parameters constant te houden, shift na shift, cyclus na cyclus.
Wat er echt toe doet Deze lampen gebruiken kortegolflengte-infraroodlicht en beschikken over kwartsomhulsels. Hierdoor is de opstarttijd kort en kan de temperatuur goed worden geregeld. In de bakzone blijft de uniformiteit op het niveau van ±0,1°C – dit is voldoende om de kritieke parameters tijdens het proces te behouden. De lampen zijn geschikt voor gebruik in schone ruimtes van klasse 1–100. Ze hebben een afgesloten constructie met minimale uitstoot van gassen en veroorzaken geen vervuiling. Het thermische systeem is ontworpen voor 24/7 gebruik. Uit onderzoek blijkt dat er geen onverwachte storingen optreden na meer dan 5.000 uur gebruik, met een afwijking van minder dan 5% in de uitgangstemperatuur.
Bij PVD is het belangrijk om de temperatuur van het substraat constant te houden. De lampen zorgen ervoor dat het thermische profiel constant blijft, waardoor de variabiliteit in de dikte van de laag wordt verminderd. Dit zorgt voor een consistenter resultaat. De voordelen zijn dat de procesparameters goed te bepalen zijn, er minder herwerkwerk nodig is en de onderhoudskosten lager zijn.
De energieverbruik is zo ingesteld dat er snel een stabiele temperatuur wordt bereikt, zonder dat er veel energie verloren gaat. Hierdoor kunnen de operationele kosten worden verlaagd, zonder dat de snelheid van het proces wordt beperkt.
Nog wat praktische tips bij de installatie De lampen passen gemakkelijk in de standaard PVD-apparaten. Toch moet je tijdens de installatie controleren of de lampen goed zijn gealigneerd met de thermische poorten van de kamer en de koelpaden. Er zal waarschijnlijk weinig tijd nodig zijn om de PID-instellingen af te stellen voor de specifieke omstandigheden in de kamer. Eenmaal klaar, blijven de instellingen constant, waardoor de onderhoudsintervallen langer worden. Hierdoor is er meer tijd beschikbaar voor productie, en minder tijd nodig voor onderhoud.