Een betere manier om MEMS-wafers te drogen
Als je ervaring hebt met de productie van MEMS-sensoren, weet je hoe moeilijk het is om de wafers op de juiste manier te drogen, zonder dat er residuen achterblijven – of erger nog: dat het oppervlak van de wafer wordt vervormd door thermische spanningen. Het is een constante uitdaging.
De meeste mensen maken gebruik van standaard convectieverwarmers. Maar hier is een probleem: deze verhitten vaak ook de binnenwanden van de apparaatkamer. Dat is energieverspilling, en bovendien een gevaar voor degene die zich in het apparaat moet begeven.
Wij hebben een betere oplossing gevonden: richtingsgebonden infraroodverwarmingslampen.
Hoe het werkt
Stel je voor dat resistieve verwarmers proberen de lucht rondom het onderdeel op te warmen. Infraroodlampen werken anders: ze stralen elektromagnetisch licht in een rechte lijn uit. We richten deze lampen rechtstreeks op de wafer. De energie bereikt zowel de wafer als de vloeibare residuen, waardoor deze snel verdampen. Omdat de hitte gericht is, blijven de wanden van het apparaat koel. Je verspilt geen energie aan het opwarmen van de hele ruimte; je verwarmt alleen dat deel dat echt nodig is.
De uitdagingen
Het is echter niet zo simpel als ‘simplement aansluiten’. Om de juiste hitteintensiteit te bereiken, gebruiken we meestal korte-golflange kwartslampen. Deze lampen kunnen snel worden opgewarmd, wat ideaal is om de productielijn soepel te laten draaien.
Maar je moet goed opletten met de afstand tussen de lampen. Als de lampen te dicht bij elkaar staan, ontstaan er hete plekken die de sensor beschadigen. Als ze te ver weg staan, duurt het langer voordat de wafers zijn gedroogd. Je moet dus precies de juiste afstand vinden.
Meer comfort voor de operators
Het beste van alles? Je hoeft geen enorme isolatie meer te gebruiken, zoals dat nodig is bij convectiesystemen. Hierdoor nemen je gereedschappen veel minder ruimte in beslag.
Bovendien hoef je niet meer te wachten tot het apparaat volledig is opgewarmd. Operators kunnen sneller naar binnen gaan, zonder bang te hoeven zijn voor brandwonden door het hete apparaat.
Eén tip: zorg ervoor dat je stroomvoorziening de maximale vermogenssterkte van de lamp kan dragen. Anders kun je te maken krijgen met flakkeringen of dat de gloeidraden te vroeg kapotgaan.