http://ir-heat-fire.com/nl/tags/verwerking/ Recent content in Verwerking on Intense Infrared Heating Lamps Hugo nl Sat, 06 Jun 2026 03:42:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/nl/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ Sat, 06 Jun 2026 03:42:39 +0800 http://ir-heat-fire.com/nl/posts/rapid-thermal-processing-rtp-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="Snelle thermische verwerking (RTP) lamp"></p> <p>Out op de productievloer ligt een 300mm wafer, wachtend om zijn thermische signatuur precies afgesteld te krijgen. Eén afwijking in het soft bake- of hard bake-profiel en de lijnbreedte van de photoresist begint te verschuiven. Je verliest rendement voordat de etskamer de wafer überhaupt ziet. Onze rapid thermal processing lampen zijn ontworpen om die verschuiving precies daar te stoppen waar het begint.</p> <p><strong>Wat belangrijk is onder de motorkap</strong><br> De lampen gebruiken kortegolf halogeenbronnen in een kwartsassemblage, waardoor de energie snel, directioneel en strikt spectraal beheerst wordt. Over de proceszone blijft de uniformiteit op wafer-niveau binnen ±0,1°C, en de temperatuurherhaalbaarheid blijft per cyclus consistent. Het systeem is gespecificeerd voor cleanroomklasse 1–100, en de componentkeuzes plus afdichtingen zijn ontworpen om de deeltjesgeneratie op nul te houden. De stroomvoorziening is gekalibreerd om te voldoen aan het thermische budget van geavanceerde nodes, zodat de opwarming, soak en afkoeling exact verlopen volgens het recept.</p>