Dlaczego przechodzimy na lampy infraredowe do procesu mycia bez ołowiu
Świat półprzewodników dąży coraz bardziej do stosowania standardów „zielonych” i wolnych od ołowiu. Można to zaobserwować szczególnie na etapie suszenia podczas procesu mycia.
Przez długi czas korzystaliśmy z pieców konwekcyjnych. Ale bądźmy szczerzy: podgrzewanie ogromnej komory tylko po to, by wysuszyć kilka płytek, jest stratą energii. Dlatego przeszliśmy na lampy infraredowe. Zamiast podgrzewać powietrze, te lampy oddziałują bezpośrednio na powierzchnię płytki. Nie ma już potrzeby używania dużych urządzeń do obróbki powietrza, które zajmują miejsce i zwiększają emisję dwutlenku węgla w pomieszczeniach czystych.
Jak dokładnie funkcjonuje proces suszenia
Podczas procesu mycia mamy do czynienia z dużą ilością wilgoci i resztek chemicznych. Aby to zwalczyć, używamy lamp infraredowych odpornych na wodę. Gdybyśmy użyli zwykłej lampy, wilgoć powodowałaby zwarcia lub natychmiastową utratę efektywności lampy. To szybki sposób na zniszczenie sprzętu.
Prawdziwa magia polega na energii promieniowania. Fotony przechodzą prosto przez warstwę cieczy na powierzchni płytki, co sprawia, że cząsteczki wody szybko drgają i parują. I to bardzo szybko. Większość tych systemów osiąga odpowiednią temperaturę w ciągu sekund. To ważne, ponieważ zapobiega powstawaniu tych irytujących plam po suszeniu – elementów, które negatywnie wpływają na jakość chipów i sprawiają, że chce się wyrwać włosy z głowy.
Radzenie sobie z wilgotnym środowiskiem
Zwykłe rury kwarcowe nie mogą poradzić sobie z takimi warunkami. Musimy uszczelnić elektrody i używać specjalnych powłok, aby układy elektroniczne pozostały suche. Korzystamy z lamp o wysokiej intensywności i krótkich falach. Dzięki temu ciepło jest skupiane dokładnie tam, gdzie powinno być – na powierzchni substratu.
Kompromisy (bo nic nie jest idealne)
Lampy infraredowe nie są żadną czarodziejską różdżką. Mają swoje wady. Tworzą silne, lokalne źródła ciepła. Jeśli prędkość transportu płytek jest niewłaściwa lub moc lampy jest zbyt duża, płytki mogą się przegrzać lub zostanie uszkodzony fotoopór. Trzeba więc doskonale dostosować prędkość transportu i moc lampy, aby uniknąć efektu cieplnego szoku. Ponadto nie można zapominać o cieple odbijającym się od ścian komory. Potrzebny jest system chłodzenia, który będzie w stanie radzić sobie z tym efektem, w przeciwnym razie sprzęt zostanie uszkodzony.