Lampa do wypalania fotoopornika
W zakładach litograficznych szybko się uczymy, że nawet niewielka różnica w temperaturze w trakcie procesu obróbki może wpłynąć negatywnie na...
Piec do wypalania warstwy oporowej wiązki elektronowej
Na hali litograficznej wypiek warstwy E-beam resist to nie tylko rozgrzewka. To zjawisko termiczne, które ustala kontrolę wymiarów krytycznych. Dryf...