На производственном участке все просто: даже небольшое отклонение температуры в 0,1°C может испортить качество фотополимерного слоя. Именно поэтому мы разработали эти сушильные устройства для тех случаев, когда критически важны параметры температуры, ее стабильность и контроль за частицами.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы обеспечиваем стабильность температуры на уровне ±0,1°C на площади 150 мм и 200 мм для подложек различных размеров. Система НИР в сочетании с оптимизированным потоком воздуха позволяет устранять «горячие точки» без возникновения избыточной температуры. Кварцевые и галогеновые модули настроены так, чтобы температура оставалась в пределах допустимых значений в процессе обработки фотополимерного слоя. Нагреватели с углеродными волокнами обеспечивают быстрое нагревание при минимальном инертном сопротивлении.
Совместимость с чистой комнатой — не дополнительная функция. Вы можете выбрать конфигурацию класса 1–100; при этом не будет никаких частиц, а система фильтрации воздуха предотвращает загрязнение пластинок. Система управления настроена так, чтобы результаты обработки были одинаковыми в каждой партии продукции.
Почему это работает там, где это важно
В процессе литографии стабильность температуры позволяет сохранять точность критических размеров, что снижает количество необходимых корректировок. В процессе очистки и сушки вода удаляется без образования следов, что снижает количество дефектов.
Для упаковки та же самая платформа используется для отверждения защитных слоев и наполнителей. Это позволяет сократить время обработки и потребление энергии. Результатом является стабильная производительность, меньше бракованных пластинок и менее простоев оборудования.
Что необходимо учитывать при установке и обслуживании
Размер вытяжных труб должен соответствовать разнице давлений в чистой комнате. Если трубы не расположены правильно, это приведет к помехам, которые нарушат стабильность температуры. Устройство также требует отдельного электрического кабеля для поддержания стабильности температуры во время быстрого нагрева.
Необходимо проводить калибровку каждые 5 000 часов работы лампы, чтобы сохранять точность температуры. При правильной настройке устройство может работать 24/7, обеспечивая стабильную температурную обработку пластинок в процессах сушки, обработки фотополимерного слоя и упаковки.