Почему мы переходим на использование инфракрасных ламп для процесса промывки без использования свинца
В мире полупроводников наблюдается тенденция к использованию «зеленых» стандартов и технологий, не содержащих свинец. Это особенно заметно на этапе сушки после промывки.
Долгое время мы использовали конвекционные печи для сушки. Но честно говоря, нагревание огромной камеры лишь ради сушки нескольких пластин — это пустая трата энергии. Поэтому мы перешли на использование инфракрасных ламп. Вместо нагрева воздуха эти лампы воздействуют непосредственно на поверхность пластин. Таким образом не нужны огромные устройства для поддержания температуры, что снижает объем выбросов углерода в чистой комнате.
Как происходит процесс сушки
В процессе промывки на поверхности пластин остается много влаги и химических остатков. Чтобы справиться с этим, мы используем водонепроницаемые инфракрасные лампы. Если бы мы использовали обычные лампы, влага могла бы вызвать короткое замыкание или окисление филамента. Это приведет к быстрому разрушению оборудования.
Секрет заключается в излучаемой энергии. Фотоны проходят сквозь жидкостную пленку на поверхности пластины, заставляя молекулы воды вибрировать и быстро испаряться. Процесс сушки происходит очень быстро. Большинство таких систем достигают нужной температуры за несколько секунд. Это очень важно, ведь это предотвращает появление нежелательных пятен на поверхности пластины, что может снизить качество производства чипов.
Проблемы, связанные с влажной средой
Обычные кварцевые лампы не могут справиться с условиями влажной среды. Нам приходится использовать специальные экрани для защиты электродов, а также специальные покрытия для сохранения сухости электронных компонентов.
Мы используем лампы с высокой интенсивностью излучения и короткой длиной волны. Это позволяет сохранять тепло именно на поверхности пластины.
Недостатки использования инфракрасных ламп
Инфракрасные лампы не являются решением всех проблем. У них есть свои недостатки. Они создают сильное локальное нагревание. Если скорость подачи пластин некорректна или мощность ламп слишком велика, это может привести к перегреву пластин или повреждению фотополимера. Необходимо правильно сочетать скорость подачи пластин и мощность ламп, чтобы избежать теплового удара.
Кроме того, не стоит забывать о тепле, отражающемся от стен камеры. Необходима система охлаждения, способная справиться с этим эффектом, иначе оборудование будет перегреваться.