На производственном участке параметры процесса PVD становятся все более строгими – кажется, что каждый квартал мы вынуждены сокращать ещё немного допуски в работе оборудования. Достаточно лишь небольшого изменения температуры лампы, чтобы нарушить параметры просушки фоторезиста; в результате возникают отклонения в ширине линий и их расположении. Мы разрабатывали эти лампы таким образом, чтобы обеспечивать стабильные тепловые условия в течение всего цикла работы оборудования.
Что действительно важно Эти лампы используют коротковолновое инфракрасное излучение и имеют кварцевые оболочки, что позволяет быстро достигать нужной температуры и поддерживать её на постоянном уровне. На всей площади зоны просушки однородность температуры составляет ±0,1°C – этого достаточно для сохранения критически важных параметров процесса просушки. Лампы предназначены для использования в чистых помещениях класса 1–100; они имеют герметичную конструкцию с минимальным выделением газов и не создают частиц. Тепловая система рассчитана на круглосуточную работу; данные эксплуатации показывают отсутствие непланированных сбоев в течение более 5 000 часов, при этом отклонение параметров выходного продукта составляет менее 5%.
В процессе PVD важна стабильная температура подложки – это определяет уровень качества выпускаемой продукции. Эти лампы обеспечивают стабильный температурный профиль при каждом цикле работы, что снижает отклонения в ширине линий и способствует лучшему прилипанию пленки к поверхности подложки. В результате получаются предсказуемые параметры процесса, меньше необходимости в переработке продукции, а также возможность планирования работ по техническому обслуживанию.
Потребление энергии минимизировано благодаря быстрой достижению нужной температуры и низким потерям в режиме покоя; это позволяет снизить операционные расходы без ущерба для скорости работы оборудования.
Несколько практических рекомендаций по установке Лампы можно устанавливать прямо на стандартные платформы оборудования для процесса PVD. Однако перед установкой необходимо проверить их правильную ось в отношении тепловых портов камеры и каналов охлаждения. Потребуется некоторое время на настройку параметров PID в соответствии с характеристиками камеры и фиксирующих устройств. После этого параметры будут стабильными, а интервалы технического обслуживания увеличатся – это приведет к более длительному времени работы оборудования и меньшему количеству необходимости в его регулировке.