Лучший способ сушки пластин для производства MEMS-датчиков
Если вы занимаетесь производством MEMS-датчиков, вы знаете, с какими трудностями приходится сталкиваться. Необходимо сушить пластины так, чтобы не оставалось следов загрязнений, а также чтобы избежать деформации детали под воздействием тепловых нагрузок. Это похоже на постоянную борьбу.
Большинство людей используют стандартные конвективные нагреватели, но у них есть один серьезный недостаток: они нагревают внутренние стенки камеры. Это приводит к трате энергии, а также создает опасность для тех, кто должен заходить внутрь оборудования.
Мы нашли лучший способ – использование направленных инфракрасных нагревателей.
Как это работает
Представьте себе: резистивные нагреватели пытаются нагреть воздух вокруг детали. Инфракрасные нагреватели работают иначе – они излучают электромагнитные волны в прямом направлении. Мы направляем эти лампы прямо на пластину. Энергия попадает на пластину и на жидкие остатки, что приводит к быстрой испаряемости жидкости. Поскольку тепло направлено точно на деталь, стенки оборудования остаются прохладными. Вы не тратите энергию на нагрев всей комнаты – вы нагреваете только ту часть, которая действительно этого нуждается.
Сложности
Это не так просто, как кажется. Чтобы достичь правильной плотности тепла для производства MEMS-датчиков, мы обычно используем кварцевые лампы с коротковолновым излучением. Они быстро нагреваются, что отлично подходит для продолжения производственного процесса.
Но необходимо быть осторожным с расстоянием между лампой и пластиной. Если лампа расположена слишком близко, возникают горячие точки, которые могут повредить датчик. Если же лампа расположена слишком далеко, время сушки значительно увеличивается. Необходимо точно подобрать это расстояние.
Упрощение работы
Самое лучшее – это отказ от массивных изоляционных материалов, необходимых для конвективных систем. Это позволяет сократить объем пространства, занимаемого оборудованием. Также исчезают длительные времена ожидания перед запуском оборудования. Операторы могут быстрее заходить внутрь, не беспокоясь о возможном обжоге от горячего корпуса оборудования.
Один совет: убедитесь, что ваш источник питания может выдерживать максимальную мощность лампы. В противном случае возникнут проблемы с работой лампы или ее перегревом.