Инфракрасная лампа без озона

Mon, 01 Jun 2026 19:59:39 +0800

На производственном участке обработка фоторезиста не прощает тепловых сдвигов. Soft bake с отклонением даже в 0,5°C начинает распространять вариации CD по всей пластине. Нестабильность hard bake приводит к появлению налёта и проблемам с адгезией. Традиционные лампы усугубляют ситуацию, генерируя озон, который разрушает фоторезист и повышает количество частиц — особенно в чистых помещениях классов 1–100.

Вот что действительно важно.

Эти инфракрасные лампы без озона излучают коротковолновую энергию с контролем спектра, согласованным с поглощением фоторезиста. Это поддерживает минимальные температурные градиенты от поверхности к объёму. По всей поверхности печи однородность температуры на уровне пластины удерживается в пределах ±0,1°C, а воспроизводимость установки температуры составляет ±0,5°C от партии к партии. Отсутствие озона исключает оксидные артефакты и снижает нагрузку на системы очистки воздуха. Кварцевый корпус спроектирован с учётом низкой дегазации и минимального выделения частиц, что предотвращает потери выхода продукции из-за загрязнений.

Бесплатный on Intense Infrared Heating Lamps

Инфракрасная лампа без озона