http://ir-heat-fire.com/ru/tags/%D1%80%D0%B5%D1%84%D0%BB%D0%B5%D0%BA%D1%82%D0%BE%D1%80/ Recent content in Рефлектор on Intense Infrared Heating Lamps Hugo ru Thu, 04 Jun 2026 03:14:53 +0800 http://ir-heat-fire.com/ru/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ Thu, 04 Jun 2026 03:14:53 +0800 http://ir-heat-fire.com/ru/posts/reflector-for-wafer-curing-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="Рефлектор для лампы отверждения пластин"></p> <p>На линии повторяемость запекания фоторезиста — это эталон, без допуска погрешностей. Несколько градусов отклонения температуры по пластине приводят к ошибке ширины линии в 0,1 μm, которая накапливается на каждом слое литографии. Мы разработали отражатель для ламп отверждения пластин, чтобы устранить эту вариабельность. Он формирует инфракрасное излучение в стабильное термическое поле с размером менее миллиметра, благодаря чему параметры мягкого и жёсткого запекания соответствуют техническим требованиям из партии в партию.</p> <p><strong>Что важно с технической точки зрения</strong><br> Этот отражатель настроен на излучение в ближнем ИК-диапазоне (NIR) с точным угловым контролем, обеспечивая распределение интенсивности с отклонением не более ±0,1°C по плоскости пластины. Геометрия оптимизирована для равномерности, а не максимального потока, поскольку качество отверждения фоторезиста определяется стабильным тепловым бюджетом. Поверхность спроектирована с учётом низкого уровня частиц и стабильного коэффициента отражения, что позволяет поддерживать концентрацию частиц в чистых помещениях классов 1–100 на требуемом уровне. Повторяемость выходной мощности сохраняется в течение более 5 000 часов работы, при этом дрейф интенсивности не превышает 5% даже при круглосуточной эксплуатации.</p>