หลอดไฟสำหรับการอบวัสดุโฟโตรีซิสต์
ในโรงงานผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ คุณจะได้เรียนรู้อย่างรวดเร็วว่า การปรับอุณหภูมิเพียงครึ่งองศาเท่านั้นก็สามารถทำให้ควบคุมขนาดของชิปไม่ได้อีกต่อไปได้...
ฮีตเตอร์อบเรซิสต์อีบีม
บนพื้นที่ลิโธกราฟี การอบ E-beam resist ไม่ใช่แค่การอุ่นเครื่อง แต่เป็นเหตุการณ์ความร้อนที่กำหนดการควบคุมมิติเชิงวิกฤติ การเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิ 2°C...