PVD işlemlerinde, süreç parametreleri giderek daha da daralıyor; her çeyrekte sanki bir köşeyi daha kesiyormuş gibi hissediyoruz. Sadece bir lambanın termal dalgalanması bile fotoresistin işlenme profilini bozmaya yetiyor ve böylece katman kalınlıklarında ve hat genişliklerinde değişiklikler meydana geliyor. Bu PVD lambaları, vardiya ardına vardiya, döngü ardına döngü boyunca termal dengeyi koruyabilmek için tasarlandı.
Asıl önemli olan şeyler
Bu lambalar kuvars kapsülleri sayesinde kısa dalga boylu kızılötesi ışık kullanır; bu sayede hızlı bir şekilde çalışır ve sabit durum kontrolü sağlanır. Isıtma bölgesindeki yonga düzeyindeki homojenlik ±0,1°C civarındadır; bu da kritik işlemlerde gereken hassasiyeti sağlar. Bu lambalar, 1–100 sınıfı temiz odalar için tasarlanmıştır; kapalı yapıları sayesinde düşük gaz salınımı olur ve parçacık üretimi yoktur. Termal sistem 7×24 saat çalışacak şekilde tasarlanmıştır ve saha verilerine göre 5.000 saatten fazla kullanımda hiçbir arıza yaşanmamıştır; çıkış değerlerindeki değişim %5’in altındadır.
PVD işlemlerinde, tekrarlanabilir bir yüzey sıcaklığı, verimliliği korumanın anahtarıdır. Bu lambalar her işlemde termal profili sabit tutar; bu sayede hat genişliklerindeki değişiklikler azalır ve filmin yüzeye daha iyi yapışması sağlanır. Bunun sonucunda öngörülebilir işlem parametreleri elde edilir, yeniden işleme gereksinimleri azalır ve bakım işlemleri daha rahat planlanabilir.
Enerji tüketimi ise hızlı ısınma ve düşük boşta enerji kaybı için ayarlanmıştır; böylece işletme maliyetleri düşürülürken, işlem hızından da ödün verilmemiş olur.
Kurulumla ilgili pratik bilgiler
Lambalar standart PVD ekipman platformlarına doğrudan monte edilebilir; ancak kurulum sırasında odanın termal portlarına ve soğutma sistemine uyumlu olduğundan emin olmak gerekmektedir. PID ayarlarını doğru yapmak için kısa bir devreye alma süresi gereklidir. Ayarlar doğru yapıldığında, sabit noktalara ulaşılır ve bakım aralıkları uzar; böylece daha fazla süreyle çalışılabilir ve daha az müdahale gereklidir.