MEMS wafer’larını kurutmanın daha iyi bir yolu
Eğer MEMS sensör üretimi konusunda biraz olsun deneyiminiz varsa, bu işin ne kadar zor olduğunu biliyorsunuz. Wafer’ları, herhangi bir kalıntı bırakmadan veya daha kötüsü, termal stres nedeniyle deformasyona uğramadan kurutmaya çalışmak adeta sürekli bir mücadele gibi.
Çoğu kişi standart konveksiyon ısıtıcılarına güveniyor; ancak bunların da bir sorunu var: Bu cihazlar, ekipmanın iç duvarlarını da ısıtıyor. Bu hem enerji israfı demektir, hem de makineye dokunmak zorunda kalan kişiler için güvenlik açısından tehlikelidir.
Biz daha iyi bir yol bulduk: Yöneltilebilir kızılötesi ısıtıcılar.
Nasıl çalışır?
Bunu şöyle düşünün: Dirençli ısıtıcılar, parçanın etrafındaki havayı ısıtmaya çalışır. Kızılötesi ışık kaynakları ise farklıdır; elektromanyetik radyasyonu düz bir çizgide gönderirler. Bu ışık kaynaklarını doğrudan wafer’ın üzerine yönlendiririz. Enerji, wafer ve sıvı kalıntılara çarpar ve böylece hızlı bir şekilde buharlaşma gerçekleşir. Isı sadece gerekli olan bölgeye yönlendirildiğinden, ekipmanın duvarları soğuk kalır. Tüm odayı ısıtarak enerji israf etmiş olmuyorsunuz; sadece gerçekten ihtiyaç duyulan bölgeyi ısıtıyorsunuz.
Zorluklar
Ancak bu iş basitçe “tak ve çalıştır” şeklinde değil. MEMS cihazları için uygun ısı yoğunluğunu elde etmek için genellikle kısa dalga boylu kuvars lambalar kullanılır. Bunlar hızla ısınır, bu da üretim sürecinin hızlanmasına yardımcı olur. Ancak mesafe konusunda dikkatli olmak gerekir. Lambayı çok yakına yerleştirirseniz, sensörü bozan sıcak noktalar oluşur. Çok uzakta yerleştirirseniz de kurutma süresi uzar. Doğru mesafeyi bulmak önemlidir.
Sağladığı avantajlar
En iyi yanı ise, konveksiyon sistemlerinde gereken devasa ve hacimli yalıtım malzemelerine ihtiyaç duymamanızdır. Böylece ekipmanlarınızın yer kaplaması çok azalır. Ayrıca, makineyi çalıştırdığınızda ortaya çıkan uzun bekleme süreleri de ortadan kalkar. Operatörler, aşırı sıcaktan dolayı zarar görmek endişesi olmadan daha hızlı bir şekilde makinenin içine girebilirler.
Tek bir tavsiye: Güç kaynağınızın lambanın maksimum gücünü karşılayabildiğinden emin olun. Eğer karşılayamıyorsa, lambanın filamentleri beklenenden daha erken yanabilir.