Hat üzerinde, fotoresist fırınlama tekrar edilebilirliği temel kriterdir—tolerans payı yoktur. Wafer üzerinde birkaç derece kayma, 0.1 μm çizgi genişliği hatası yazdırmanıza ve ardından bunun her litografi katmanında katlanarak artışını izlemenize neden olur. Bu değişkenliği ortadan kaldırmak için wafer kürleme lambaları için reflektörümüzü tasarladık. Kızılötesini kararlı, milimetrenin altında termal bir alana dönüştürür, böylece yumuşak fırınlama ve sert fırınlama spesifikasyonlarda kalır, parti parti.
Teknik olarak önemli olan
Bu reflektör, NIR (Yakın Kızılötesi) iletimine yönelik sıkı açısal kontrol ile ayarlanmıştır ve wafer düzleminde ±0.1°C hassasiyetle yoğunluk haritası oluşturur. Geometri, pik akışa değil, homojenliğe optimize edilmiştir çünkü fotoresist kürleme tutarlı termal bütçeye bağlıdır. Yüzey, düşük partikül yayılımı ve stabil yansıtıcılık için tasarlanmıştır; böylece partikül sayıları Class 1–100 temiz oda gereksinimlerinde kalır. Çıkış tekrar edilebilirliği 5.000+ saat üzerinde korunur ve 7/24 çalışmada yoğunluk sapması %5’in altındadır.
Burada kullanılan yerde neden işe yaradığına dair açıklama.
Wafer’ları litografiden geçirirsiniz, ardından kritik boyutları belirleyen zaman, sıcaklık ve homojenlik için fırın plakalarına yönlendirirsiniz. Reflektör, lambanın termal profilini sabitleyerek kritik boyutlarda heterojenlik ve skumming’e yol açan sıcak noktaları ve kenar düşüşlerini ortadan kaldırır. Sonuç olarak wafer genelinde daha sıkı homojenlik, daha az revizyon ve planlanabilir verim elde edilir. Ayrıca sistem, aşırı ısınma olmadan gereken termal dozu sağladığından enerji tasarrufu sağlar—bu da wafer başı işletim maliyetini düşürür.
Birkaç fabrika sahası notu.
Reflektör, standart kürleme lamba armatürlerine uyumludur ancak hizalama toleransı sıkıdır—milimetrenin altında sapmalar homojenlik haritasını kaydırır. Kontrollü bir prosedürle kurulmalı ve önleyici bakım kapsamında sabitlenmelidir. Reflektör ömrü, çalışma sıcaklığı ve temiz oda ortamına bağlıdır; yoğun solvent buharı maruziyeti kaplama ömrünü kısaltır. Değişim planlamaları çalışma sürenize göre yapılmalı, böylece hat üzerinde sürprizlerle karşılaşılmaz.