Aşağıda, “Ozon” sınıflandırma terimini kullanan sayfaları bulacaksınız. Ozon içermeyen kızılötesi lamba Fab katında, fotoresist işlemede termal kayma affedilmez. Hedeften sadece 0.5°C sapan bir soft bake, wafer üzerinde CD varyasyonunun yayılmasına... Read more...
Ozon içermeyen kızılötesi lamba Fab katında, fotoresist işlemede termal kayma affedilmez. Hedeften sadece 0.5°C sapan bir soft bake, wafer üzerinde CD varyasyonunun yayılmasına... Read more...
