Чому ми переходимо на використання інфрачервоних ламп у процесі промивання без використання свинцю
У світі полупровідників існує сильний тиск щодо використання „зелених“ стандартів та продуктів, вільних від свинцю. Це можна побачити на етапі сушіння під час процесу промивання.
Довгий час ми користувалися конвективними печами. Але будьмо чесні: нагрівання величезної кімнати лише для сушіння кількох пластин – це марна трата енергії. Саме тому ми перейшли на використання інфрачервоних ламп. Замість нагрівання повітря, ці лампи безпосередньо опромінюють поверхню пластини. Таким чином не потрібні великі пристрої для обробки повітря, які займають простір та збільшують викиди вуглецю.
Як саме відбувається сушіння?
Під час промивання на поверхні пластини залишається багато вологи та хімічних залишків. Щоб позбутися цього, ми використовуємо водонепроникні інфрачервоні лампи. Якби ми використовували звичайні лампи, волога могла б спричинити коротке замикання чи швидке окислення філамента. Це швидкий спосіб зіпсувати обладнання.
Справжня сила полягає у випромінюванні інфрачервоного світла. Фотони проникають прямо крізь рідку плівку на поверхні пластини, що призводить до швидкого коливання та випаровування водних молекул.
Цей процес відбувається дуже швидко. Більшість таких систем досягають потрібної температури за кілька секунд. Це дуже важливо, адже це запобігає утворенню небажаних плям чи слідів від сушіння – що значно погіршує якість чипів.
Як працювати в вологому середовищі?
Звичайні кварцові трубки просто не можуть витримати постійного впливу вологи. Тож нам потрібно герметизувати електроди та використовувати спеціальні покриття, щоб електроніка залишалась сухою.
Ми використовуємо лампи з високою інтенсивністю та короткою довжиною хвилі. Це дозволяє зберігати тепло саме на поверхні пластини.
Але є й недоліки… Інфрачервоні лампи також мають свої проблеми. Вони створюють інтенсивне, локалізоване тепло. Якщо швидкість конвеєра не правильна чи потужність ламп занадто висока, це може призвести до перегріву пластини чи пошкодження фоточутливого шару. Потрібно правильно налаштувати швидкість конвеєра та потужність ламп, щоб уникнути теплових ударів.
Крім того, не можна забувати про тепло, яке відбивається від стін камери. Потрібна система охолодження, яка зможе компенсувати це тепло, інакше обладнання буде постійно перегріватися.