Кращий спосіб сушіння пластин для MEMS-датчиків
Якщо ви коли-небудь займалися виробництвом MEMS-датчиків, ви знаєте, наскільки це складно. Спроби осушити пластини без утворення залишків рідини – або, ще гірше, без деформації деталі через тепловий стрес – є постійною проблемою.
Більшість людей використовують стандартні конвективні нагрівачі, але у них є одна проблема: вони нагрівають внутрішні стінки камери обладнання. Це марна трата енергії, а також становить загрозу для безпеки людей, які повинні працювати з цим обладнанням.
Ми знайшли кращий спосіб – використання направлених інфрачервоних нагрівальних ламп.
Як це функціонує
Уявіть собі таке: резистивні нагрівачі намагаються нагріти повітря навколо деталі. Інфрачервоні лампи працюють інакше – вони випромінюють електромагнітне випромінювання в прямій лінії. Ми спрямовуємо ці лампи прямо на пластину. Енергія потрапляє на пластину та рідинні залишки, і відбувається швидке випаровування. Оскільки тепло спрямоване, стінки обладнання залишаються прохолодними. Ви не марнуєте енергію на нагрівання всієї кімнати – ви просто нагріваєте ту деталь, яка цього потребує.
Проблеми під час використання
Це не так просто, як здається. Щоб досягти правильної щільності тепла для MEMS-датчиків, ми зазвичай використовуємо кварцові лампи короткої довжини хвилі. Вони швидко нагріваються, що дуже корисно для контролю процесу виробництва.
Але потрібно бути обережним із відстанню між лампою та пластиною. Якщо лампа знаходиться занадто близько, можуть утворитися „жаркі точки“, які пошкодять датчик. Якщо ж лампа знаходиться занадто далеко, час сушіння значно збільшується. Потрібно точно визначити цю відстань.
Зручність у експлуатації
Найкраще те, що можна позбутися великої кількості ізоляції, необхідної для конвективних систем. Це означає, що ваше обладнання займає значно менше місця.
Також це дозволяє уникнути довгого часу очікування після запуску обладнання. Оператори можуть швидше потрапити всередину, не хвилюючись про можливі опіки від гарячого корпусу обладнання.
Один порада: переконайтеся, що ваш джерело живлення може витримати пікову потужність лампи. Якщо ні, ви будете мати проблеми зі світлом чи перегорянням філаментів раніше, ніж це слід було б.