On the line, повторюваність випікання фоторезисту є базовою вимогою — без допустимих відхилень. Відхилення на декілька градусів по всій пластині призводить до помилки у товщині лінії 0,1 μm, яка потім накопичується через кожен шар літографії. Ми розробили наш рефлектор для ламп відпалу пластин, щоб усунути цю нестабільність. Він формує інфрачервоне випромінювання у стабільне теплове поле субміліметрового розміру, забезпечуючи дотримання параметрів м’якого та твердого відпалу партія за партією.
Що має значення з технічної точки зору
Цей рефлектор налаштований для доставки NIR з жорстким контролем кута, забезпечуючи розподіл інтенсивності в межах ±0,1°C по площині пластини. Геометрія оптимізована під рівномірність, а не максимальний потік, оскільки якість відпалу фоторезисту залежить від стабільного теплового бюджету. Поверхня спроектована для низької кількості частинок і стабільного коефіцієнта відбиття, підтримуючи рівень частинок у межах стандартів чистоти Class 1–100. Повторюваність виходу зберігається понад 5 000 годин роботи з дрейфом інтенсивності менше 5%, навіть при цілодобовій експлуатації.
Ось чому він ефективний у вашій лінії.
Пластини проходять через літографію, потім на плити відпалу, де час, температура та рівномірність визначають критичні розміри. Рефлектор фіксує тепловий профіль лампи, усуваючи гарячі зони та спад інтенсивності по краях, які викликають нерівномірність критичних розмірів і дефекти відпалу. Результат — краща рівномірність по всій пластині, менше переділок та прогнозований вихід продукції. Також економиться енергія, оскільки система досягає потрібної теплової дози без перевищень, знижуючи експлуатаційні витрати на пластику.
Декілька зауважень для цеху.
Рефлектор встановлюється у стандартні кріплення ламп відпалу, але допуски на вирівнювання суворі — зсуви менше міліметра змінюють карту рівномірності. Монтаж слід виконувати за контрольованою процедурою і фіксувати в рамках планового технічного обслуговування. Термін служби рефлектора залежить від робочої температури та умов чистої кімнати; тривала дія парів розчинників скорочує термін служби покриття. Плануйте заміни відповідно до запланованого часу роботи, щоб уникнути несподіванок на лінії.