На підлозі фоторезист є стабільним лише протягом часу, необхідного для завершення останнього термічного циклу. Пластини розташовані на тележках, і кожна хвилина зміни температури може призвести до появи похибок у розмірах фоторезисту – а це призводить до зниження якості готової продукції. Ми створили спеціальний нагрівач для чистих приміщень, який допомагає усунути цю невизначеність.
Що є важливим у конструкції
Ми використовуємо елементи короткохвильового інфрачервоного випромінювання, які розташовані в кварцовому оболонці – це забезпечує швидку реакцію та мінімальне виділення газів. Система забезпечує однорідність температури на всій поверхні пластини з точністю до ±0,1°C, а повторюваність значень температури становить менше ±0,5°C. Профілі нагріву залишаються постійними під час кожного циклу, тож не виникає проблем з тепловим балансом чутливих матеріалів.
Нагрівач виготовлений з матеріалів, придатних для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Розташування потоків повітря спрямоване на мінімізацію утворення частинок. Алгоритм керування забезпечує стабільну роботу навіть при змінах лінійної напруги чи відкритті дверей.
Чому цей нагрівач підходить для літографії
У процесі літографії нагрівач забезпечує правильну температуру фоторезисту під час процедур його обробки, без перевищення чи недосягнення необхідних значень температури. Це забезпечує стабільний контроль критичних розмірів, меншу кількість необхідних корекцій та передбачувані часи виконання процесів.
Використання енергії оптимізоване завдяки цільовому нагріванню та режиму очікування. Надійність нагрівача забезпечує його можливість безперервної роботи протягом 24/7 – без несподіваних перебоїв. Усі процеси залишаються задокументованими та підлягають контролю, що усуває можливість припущень.
Що потрібно врахувати під час планування
Для правильної роботи нагрівача необхідна спеціалізована система живлення з фільтрацією та належне заземлення для уникнення електростатичного розряду. Нагрівач буде працювати належним чином, якщо температура в чистому приміщенні буде в межах 20–25°C та вологість – 35–55%. Поза цими межами точність контролю температури зменшується.
Необхідно також планувати процедуру перевірки нагрівача разом із носіями пластин та переконатися, що розташування потоків повітря відповідає плануванню приміщення.