Запобігайте перегріву вакуумної камери
Якщо ви коли-небудь нагрівали пластини чи субстрати у вакуумній камері, ви знаєте, які труднощі це приносить. Найбільшою проблемою є накопичення тепла.
Стандартні інфрачервоні лампи по суті є лампами, які випромінюють енергію у всіх напрямках. У обмеженому просторі полупровідникового обладнання це стає проблемою – стінки камери поглинають усю цю зайву енергію. Через це внутрішні стінки камери нагріваються до критичних значень, що може пошкодити обладнання чи навіть нашкодити людині, яка керує пристроєм.
Кращий спосіб нагрівання
Ми вирішили цю проблему, використовуючи принципи фізики. Замість звичайної кварцової трубки ми наносимо на задню частину лампи відбиваюче покриття. Це дозволяє направити інфрачервоне випромінювання саме туди, де воно потрібне – на об’єкт нагріву. Це проста корекція в оптиці, але вона значно покращує ефективність нагрівання. Таким чином, зайва енергія не потрапляє на стінки камери, а об’єкт нагріву отримує більш точне нагрівання. Крім того, зовнішня частина пристрою залишається прохолодною.
Практичні недоліки
Ці направлені лампи дозволяють підвищувати потужність без ризику пошкодження корпусу пристрою. Це явна перевага. Але ніщо не триває вічно. Через постійну роботу при високих температурах відбиваюче покриття може з часом зноситися. Це не відбувається миттєво, але все ж таки відбувається. Рекомендую перевіряти температурні показники кожні кілька тисяч годин роботи. Так ви будете впевнені, що потік випромінювання не зменшується чи не змінює напрямку з часом.
Ефективне використання в реальних умовах
Щоб встановити такі лампи у вакуумному середовищі, потрібно бути уважним щодо роз’ємів – вони повинні бути призначені для вашої напруги. Також необхідно переконатися, що лампа правильно закріплюється без будь-якого тиску. Ви не хочете, щоб щось тягнуло чи напружувало конструкцію.
Найкраще те, що ви можете працювати при значно вищих температурах, при цьому зовнішня частина пристрою залишається прохолодною на дотик. Це означає, що вам не потрібні великі системи охолодження. Ви економите гроші на обладнанні для охолодження, а ще важливіше – працівники не будуть постійно уникати гарячих поверхонь.