http://ir-heat-fire.com/uk/tags/%D0%B5/ Recent content in Е on Intense Infrared Heating Lamps Hugo uk Tue, 02 Jun 2026 05:48:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/uk/posts/e-beam-resist-baking-heater/ Tue, 02 Jun 2026 05:48:19 +0800 http://ir-heat-fire.com/uk/posts/e-beam-resist-baking-heater/ <p><img src="http://ir-heat-fire.com/images/016cf4f616aaa15e4af48856b8adc51b.png" alt="Пічка для випікання електронно променевого резисту"></p> <p>На ділянці літографії запікання E-beam резисту — це не просто розігрів. Це термічний процес, який визначає контроль критичних розмірів. Зсув температури на 2°C по поверхні пластини може змістити особливості на нанометри, а нанометри — це те, що розділяє добрий вихід продукції від браку. Ми розробили нагрівач для запікання E-beam резисту з урахуванням цієї реальності: забезпечити стабільність, чистоту та повторюваність термічного процесу.</p> <p><strong>Що має значення з технічної точки зору</strong><br> Ми підтримуємо температурну однорідність по поверхні резисту на рівні ±0.1°C на рівні пластини. Експозиція E-beam чутлива до локальних температурних градієнтів, які спотворюють передачу дози на структуру. Нагрівач використовує короткохвильові інфрачервоні елементи з кварцовою капсулою зони нагріву для мінімізації генерації часток — сумісно з класом чистоти 1–100 у чистих приміщеннях.</p>