فیبریکیشن لیول پر، آپ کو تو معلوم ہی ہے کہ کیا کرنا ہے۔ بیکنگ کے دوران درجہ حرارت میں صرف 0.1°C کی تبدیلی بھی فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کو خراب کرنے کے لئے کافی ہے۔ اسی لئے ہم نے ایسے ڈرائر تیار کئے ہیں، تاکہ جب حرارتی ماحول، دہرائی کی صلاحیت، اور ذرات کا کنٹرول اہم کردار ادا کرتے ہیں، تو ان کا استعمال کیا جاسکے۔
تکنیکی اعتبار سے کیا اہم ہے؟ ہم 150 ملی میٹر اور 200 ملی میٹر سائز کے سبسٹریٹس پر ±0.1°C کی سطحی یکسانیت برقرار رکھتے ہیں۔ NIR اور بہترین ہوا کے بہاؤ کی وجہ سے گرم نقاط ختم ہو جاتے ہیں، بغیر کسی اضافی اثر کے۔ کوارٹز اور ہیلوجن ماڈیولز کو ایسے ہی ترتیب دیا گیا ہے کہ وہ فوٹوریزسٹ کے نرم/سخت بیکنگ عمل کے دوران مناسب درجہ حرارت برقرار رکھیں، اور کاربن-فائبر سے بہتر بنائے گئے ہیٹرز سے تیز رفتاری سے حرارت فراہم کی جاسکتی ہے، جس سے انرجی کی کھپت کم ہوتی ہے۔
کلین روم کے ساتھ مطابقت بھی اہم ہے۔ آپ کلاس 1–100 کی ترتیبات کا استعمال کرسکتے ہیں، جس سے کوئی ذرہ پیدا نہیں ہوتا، اور فلٹریشن کی وجہ سے سبسٹریٹس پر کوئی آلودگی نہیں رہتی۔ کنٹرول لوپ کو اس طرح ترتیب دیا گیا ہے کہ ہر بار کی پروڈکشن پچھلی بار کے مطابق ہی ہو۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟ لیتھوگرافی میں، فوٹوریزسٹ کے بیکنگ کو مطلوبہ حدود میں رکھنے سے اہم ابعاد مستحکم رہتے ہیں، جس سے پروڈکشن میں کمی نہیں آتی۔ صفائی اور خشک کرنے کے عمل میں، پانی کو بغیر کسی نشان کے ہٹایا جاتا ہے، جس سے نقائص کی تعداد کم ہوتی ہے۔ پیکیجنگ کے لئے بھی، یہی پلیٹ فارم استعمال کیا جاتا ہے، جس سے پروڈکشن کا وقت کم ہوتا ہے، اور انرجی کی کھپت بھی کم ہوتی ہے۔
نصب اور دیکھ بھال کے دوران کن باتوں کا خیال رکھنا ضروری ہے؟ ایگزاسٹ ڈکٹ کا سائز کلین روم کے دباؤ کے فرق کے مطابق ہونا چاہیے۔ اگر ڈکٹ مناسب طریقے سے منظم نہ ہو، تو یہ یکسانیت کو خراب کردے گا۔ اس یونٹ کو مستحکم رکھنے کے لئے الگ سا پاور سرکٹ بھی ضروری ہے۔ ہر 5,000 گھنٹوں بعد درجہ حرارت کی درستگی کو برقرار رکھنے کے لئے کیلیبریشن ضروری ہے۔ صحیح طریقے سے ترتیب دینے پر، یہ پلیٹ فارم 24/7 کام کرتا رہتا ہے، اور ویفرز کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے، اور پیکیجنگ کے لئے مستقل اور درست حرارتی کارکردگی فراہم کرتا ہے۔