ہم لیڈ-فری رینسنگ پروسس کے لئے انفراریڈ کا استعمال کیوں کر رہے ہیں؟
سیمی کنڈکٹر صنعت “گرین” اور لیڈ-فری معیارات کی جانب تیزی سے بڑھ رہی ہے۔ اس کا اثر رینسنگ عمل کے دوران بھی دیکھا جا سکتا ہے۔
طویل عرصے سے، ہم کنوکشن اوونز کا استعمال کرتے رہے۔ لیکن در حقیقت، چند ویفروں کو خشک کرنے کے لئے ایک بڑے کمرے کو گرم کرنا توانائی کا ضیاع ہے۔ اسی لئے ہم نے انفراریڈ لیمپوں کا استعمال شروع کیا۔ یہ لیمپ فضا کو گرم کرنے کے بجائے براہ راست ویفر کی سطح کو گرم کرتے ہیں۔ اس طرح کوئی بڑے ایئر ہینڈلنگ یونٹوں کی ضرورت نہیں رہتی، اور کلین روم کے کاربن فوٹ پرنٹ پر بھی اثر نہیں پڑتا۔
خشک کرنے کا عمل کیسے ہوتا ہے؟
جب کوئی ویفر رینسنگ کے عمل سے گزرتا ہے، تو اس پر نمی اور کیمیائی باقیات موجود ہوتی ہیں۔ ان سے نمٹنے کے لئے ہم واٹرپروف انفراریڈ لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں۔ اگر ہم عام لیمپوں کا استعمال کریں، تو نمی کی وجہ سے سرکٹ میں شارٹ سرکٹ ہو سکتا ہے، یا فلامنٹ فوراً خراب ہو سکتا ہے۔ یہ تو آلات کو نقصان پہنچانے کا ایک آسان طریقہ ہے۔
حقیقی جادو تو انفراریڈ کی تابکاری میں ہے۔ فوٹونز براہ راست ویفر کی سطح پر موجود مائع کی تہہ سے گزرتے ہیں، جس سے پانی کے مولیکیول تیزی سے حرکت کرتے ہیں اور بخارات بن جاتے ہیں۔
یہ عمل بہت تیز ہے… واقعی بہت تیز۔
زیادہ تر ایسے سسٹم چند سیکنڈوں میں مناسب درجہ حرارت حاصل کر لیتے ہیں۔ یہ بہت اہم ہے، کیوں کہ اس سے پانی کے داغ یا “خشک کرنے کے نشانات” پیدا نہیں ہوتے… جو چپوں کی کوالٹی کو نقصان پہنچاتے ہیں۔
نم دار ماحول سے نمٹنا
عام کوارٹز ٹیوبیں نم دار ماحول کا مقابلہ نہیں کر سکتیں۔ ہمیں الیکٹروڈوں کو سیل کرنا پڑتا ہے، اور خصوصی کوٹنگز کا استعمال کرکے سرکٹس کو خشک رکھنا پڑتا ہے۔
ہم اعلیٰ تیزی والے، مختصر-ترچھی لہروں والے انفراریڈ لیمپوں کا استعمال کرتے ہیں… اس سے حرارت براہ راست ویفر کی سطح پر ہی رہتی ہے۔
مشکلات (کیوں کہ کچھ بھی بے عیب نہیں ہے)
انفراریڈ بھی کوئی جادو کی چھڑی نہیں ہے… اس کے بھی اپنے مسائل ہیں۔
یہ لیمپ شدید حرارت پیدا کرتے ہیں… اگر کنویئرر کی رفتار مناسب نہ ہو، یا واٹیج زیادہ ہو، تو ویفر یا فوٹوریزسٹ خراب ہو سکتا ہے۔ یہ ایک توازن کا مسئلہ ہے… آپ کو کنویئرر کی رفتار اور پاور آؤٹ پٹ کو بالکل درست طریقے سے سنکرنا پڑتا ہے، تاکہ حرارتی صدمے سے بچا جا سکے۔
اس کے علاوہ، کمرے کی دیواروں سے منعکس ہونے والی حرارت کو بھی نظر انداز نہیں کیا جا سکتا… آپ کو ایسا کولنگ سسٹم درکار ہے جو اس حرارت کو سنبھال سکے… ورنہ آپ کے آلات خراب ہو جائیں گے۔