فرش پر، فوٹو ریزسٹ کو صرف آخری تھرمل سائیکل کی حد تک ہی مستحکم رکھا جاسکتا ہے۔ ویفرز ٹرالیوں پر رکھے جاتے ہیں، اور درجہ حرارت میں ہر منٹ کی تبدیلی سے فوٹو ریزسٹ میں سائزی خرابیاں پیدا ہوسکتی ہیں؛ اس کا نتیجہ پروڈکشن کے دوران نقصان کی شکل میں سامنے آتا ہے۔ ہم نے سیمی کنڈکٹر کلین روم کے لئے خصوصی ہیٹر بنائے ہیں، تاکہ اس غیر یقینی صورتحال سے نجات حاصل کی جاسکے۔
کیا چیزیں اہم ہیں؟
ہم کوارٹز کے خول میں شارٹ-ویو انفراریڈ عناصر استعمال کرتے ہیں؛ ان کی وجہ سے ردِعمل تیز ہوتا ہے، اور گیس کا اخراج کم ہوتا ہے۔ یہ سسٹم، ٹرالی میں رکھے گئے ویفرز کے درجہ حرارت کو ±0.1°C کے اندر برقرار رکھتا ہے، جبکہ سیٹپوائنٹ کی درستگی ±0.5°C سے بہتر ہے۔ ریمپ اور سوک پروفائلز ہر بار یکساں رہتے ہیں، تاکہ حساس فلموں پر کوئی نقصان نہ پہنچے۔
ہیٹر میں کلاس 1–100 کے کلین روم سے مطابقت رکھنے والے مواد استعمال کئے گئے ہیں، اور ہوا کے بہاؤ کو کنٹرول کرنے کے لئے خصوصی منصوبے بنائے گئے ہیں، تاکہ ذرات کی پیداوار کم ہو۔ کنٹرول الگورتھم، لائن وولٹیج میں تغیرات اور دروازے کھلنے کی صورت میں بھی مستحکم رہتا ہے۔
لیتھوگرافی میں اس کی کیا اہمیت ہے؟
لیتھوگرافی میں، ٹرالی ہیٹر فوٹو ریزسٹ کو مناسب درجہ حرارت پر برقرار رکھتا ہے، تاکہ کوئی زیادتی یا کمی نہ ہو۔ اس سے مستقل طور پر درست سائز کنٹرول حاصل ہوتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور سائیکل کا وقت بھی قابل اعتماد رہتا ہے۔
توانائی کی کھپت کو کنٹرول کرنے کے لئے خصوصی ہیٹنگ اور سٹینڈ بائی موڈ استعمال کئے گئے ہیں، اور یہ سسٹم 24/7 کام کرنے کے لئے قابل اعتماد ہے۔ پورا عمل دستاویزی شکل میں رکھا جاتا ہے، تاکہ قیاس آرائیوں کی ضرورت نہ پڑے۔
کیا چیزوں کی منصوبہ بندی ضروری ہے؟
نصب کرنے کے لئے خصوصی، فلٹرڈ پاور سپلائی اور مناسب گراؤنڈنگ ضروری ہے، تاکہ الیکٹروسٹاتک ڈسچارج سے بچا جاسکے۔ جب کلین روم کا درجہ حرارت 20–25°C اور نمی 35–55% رہتی ہے، تو ہیٹر مناسب طریقے سے کام کرتا ہے؛ اس حد سے باہر، درجہ حرارت کا کنٹرول مشکل ہو جاتا ہے۔
ویفر کیریئرز کے ساتھ ٹرالی کی سطح پر تصدیق کرنا ضروری ہے، تاکہ ہوا کا بہاؤ فیکٹری کی ساخت کے مطابق ہو۔